|
|
Measurment of Equivalent Circuit of Piezoelectric Resonator
Vomočil, Vojtěch ; Frk, Martin (referee) ; Kazelle, Jiří (advisor)
This theis deals with the general overview of the piezoelectric theory, focused both on the mathematical description and on the attributes of piezoelectric materials. It further focuses on the description of piezoelectric resonators with a more detailed explantation of their equivalent scheme and measurement methods of its single elements. The practical part of the thesis rests on the proposal of a measurement apparatus which will serve to measuring the equivalent circuit piezoelectric resonator elements. The realization of the apparatus and its functionality testing are described. In the experimental part of the thesis, the measured rates are processed and levels of the electric equivalent circuit elements of the used piesoelectric resonator for the basic and the two higher closest resonance frequency are set. The measured results are compiled into a standard measurement protocol. This thesis should place basics to the growing laboratory. It should also be a source of necessary theoretical and practical information for this lab.
|
|
|
CMOS compatible piezoelectric resonator with FET structure for graphene monolayer properties modulation
Gablech, Imrich ; Frank,, Otakar (referee) ; Husák,, Miroslav (referee) ; Pekárek, Jan (advisor)
Práce je zaměřena na výzkum nové struktury umožňující charakterizaci fyzikálních vlastností grafenu při přesně řízených podmínkách. Návrh spojuje MEMS piezoelektrický rezonátor spolu s Hall Bar/FET strukturou. Tento přístup umožňuje měnit vlastnosti grafenu odděleně nebo společně dvěma metodami. Mechanický způsob je založen na relativní deformaci způsobené rezonátorem, na kterém je umístěna grafenová monovrstva. Navrhovaná struktura umožňuje měřit vlastnosti grafenu vyvolané pouze změnou mechanického pnutí a frekvencí nucených kmitů bez vlivu vnějšího elektrického pole. Druhý přístup přidává možnost ovládat fyzikální vlastnosti grafenu pomocí elektrického pole FET struktury. Tato technika využívá grafenovou monovrstvu jako laditelný sensor pro molekulární detekci. Měření koncentrace v jednotkách ppb není konstrukčně ničím limitováno. Realizované frekvenčně laditelné piezoelektrické MEMS rezonátory s monovrstvou grafenu budou využitelné v mnoha oblastech pro detekci na molekulové úrovni. Výsledné struktury budou vyrobeny v souladu s požadavky na bio- a CMOS kompatibilitu.
|
|
|
Simulation And Fabrication Of Piezoelectric Mems Resonators
Klempa, Jaroslav
This paper presents FEM analyses and fabrication of piezoelectric MEMS resonators. Modal and harmonic analyses were made using Ansys® Workbench. These simulations showed the influence of resonators geometry on their out-of-plane displacement and corresponding resonant frequencies. Piezoelectric resonators were fabricated by standard microfabrication processing compatible with complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) technology.
|
|
|
CMOS compatible piezoelectric resonator with FET structure for graphene monolayer properties modulation
Gablech, Imrich ; Frank,, Otakar (referee) ; Husák,, Miroslav (referee) ; Pekárek, Jan (advisor)
Práce je zaměřena na výzkum nové struktury umožňující charakterizaci fyzikálních vlastností grafenu při přesně řízených podmínkách. Návrh spojuje MEMS piezoelektrický rezonátor spolu s Hall Bar/FET strukturou. Tento přístup umožňuje měnit vlastnosti grafenu odděleně nebo společně dvěma metodami. Mechanický způsob je založen na relativní deformaci způsobené rezonátorem, na kterém je umístěna grafenová monovrstva. Navrhovaná struktura umožňuje měřit vlastnosti grafenu vyvolané pouze změnou mechanického pnutí a frekvencí nucených kmitů bez vlivu vnějšího elektrického pole. Druhý přístup přidává možnost ovládat fyzikální vlastnosti grafenu pomocí elektrického pole FET struktury. Tato technika využívá grafenovou monovrstvu jako laditelný sensor pro molekulární detekci. Měření koncentrace v jednotkách ppb není konstrukčně ničím limitováno. Realizované frekvenčně laditelné piezoelektrické MEMS rezonátory s monovrstvou grafenu budou využitelné v mnoha oblastech pro detekci na molekulové úrovni. Výsledné struktury budou vyrobeny v souladu s požadavky na bio- a CMOS kompatibilitu.
|
|
|
Measurment of Equivalent Circuit of Piezoelectric Resonator
Vomočil, Vojtěch ; Frk, Martin (referee) ; Kazelle, Jiří (advisor)
This theis deals with the general overview of the piezoelectric theory, focused both on the mathematical description and on the attributes of piezoelectric materials. It further focuses on the description of piezoelectric resonators with a more detailed explantation of their equivalent scheme and measurement methods of its single elements. The practical part of the thesis rests on the proposal of a measurement apparatus which will serve to measuring the equivalent circuit piezoelectric resonator elements. The realization of the apparatus and its functionality testing are described. In the experimental part of the thesis, the measured rates are processed and levels of the electric equivalent circuit elements of the used piesoelectric resonator for the basic and the two higher closest resonance frequency are set. The measured results are compiled into a standard measurement protocol. This thesis should place basics to the growing laboratory. It should also be a source of necessary theoretical and practical information for this lab.
|
guest ::
